如何掌(zhǎng)控真空(kōng)鍍膜的(de)均勻性
作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣(qì):2713
如何掌控真空(kōng)鍍膜的均勻性
我們先來認識下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調試鍍膜機是使用鍍膜機的關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測(cè)試設備的抽真空速度,在測試過(guò)程中檢查漏氣情況與各真空泵的性能;
2、測(cè)試設備的(de)密封性能,就是抽到極限後保壓1小時看壓降是否達標,同時排除細(xì)小的(de)漏孔;
3、產品試作,檢驗其他的性(xìng)能,比如傳(chuán)動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保證的話就繼續打樣並作測試。
5、所有的測試應作記錄,並有記錄人簽字以及(jí)有使用(yòng)部門或工程部門的人確認簽字
怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原(yuán)理的不同分為(wéi)很多種類,僅僅因為都需要高真空度而擁有統一名稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相(xiàng)同。並且均(jun1)勻性這個概念(niàn)本身也會隨著鍍膜尺度和薄(báo)膜成分而有著不同的意義,下麵分別(bié)說(shuō)一下:
均勻性(xìng)主要體現在3方麵:
1、厚度(dù)上的均勻性,也可以(yǐ)理解為粗糙度,在光(guāng)學薄膜的尺度上看(也(yě)就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性(xìng)已經相當(dāng)好,可以輕鬆將(jiāng)粗糙度控(kòng)製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子鍍膜機的(de)光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說要(yào)實現10A甚至1A的表麵平整,是現在真空鍍膜中主要的技術含量與技術瓶頸所在。
2、化學組分上(shàng)的均勻性:就(jiù)是(shì)說在薄膜中,化合物的原子組(zǔ)分會由於尺度過(guò)小而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機過程不科學,那麽(me)實(shí)際表麵的組分並不(bú)是SiTiO3,而可能是(shì)其他的(de)比例,鍍的(de)膜並非是想要的膜的化學成分,這也是(shì)真空鍍膜的技術含量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這決(jué)定(dìng)了薄膜是單晶(jīng),多晶,非晶,是真空鍍(dù)膜技術(shù)中的熱點問題。
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