CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:83708
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂(wèi)“濺射”就是用荷能(néng)粒子(通常用氣體正離子)轟擊(jī)物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出的現象(xiàng)。早在1842年Grove在實驗(yàn)室中就發現了這種(zhǒng)現象。磁控濺射靶采用(yòng)靜止電磁場,磁場為曲線(xiàn)形,均勻(yún)電場和對數電(diàn)場則分(fèn)別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用(yòng)下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電(diàn)子具有足夠的(de)能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電(diàn)子飛向(xiàng)基片,Ar+在(zài)電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高(gāo)能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器(qì)、鍾(zhōng)表、高(gāo)爾夫球頭、工藝美術(shù)品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表(biǎo)、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工(gōng)模具的功(gōng)能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和(hé)重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的(de)薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力(lì)強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現(xiàn)象,在基片上形成一層濺射原子(zǐ)與基片原子相互溶合的偽擴散層(céng);
3)、製備特(tè)殊材料的薄(báo)膜,可以使用(yòng)不同(tóng)的材料(liào)同時濺射製備(bèi)混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺射(shè)膜層(céng)中不會混入(rù)坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備(bèi)低溫離子輔助源(yuán),無(wú)需加熱直接常溫冷鍍成(chéng)膜,節能省(shěng)電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機(jī) | | | | | |
型號(hào) | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機(jī)組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴(kuò)散泵機組 | KT800擴(kuò)散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或中(zhōng)頻電源、鍍膜輔(fǔ)助離子專用電源 |
充氣係統 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全自(zì)動 |
極(jí)限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參(cān)數僅做(zuò)參考(kǎo),具體均按(àn)客(kè)戶實際工藝要求(qiú)設計訂做 |