工作原理
應用範圍
產品特點
技術參數表(biǎo)
HLB係列大型(xíng)板材(cái)管材真空鍍膜機(jī) | |||||||
型號 | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
真空室(shì)尺寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴(kuò)散泵機組 | 雙(shuāng)KT1000擴散泵機組*2套(tào) | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散(sàn)泵機組*4套 |
鍍膜(mó)係統 | 專用多弧鍍膜電(diàn)源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統(tǒng)) | ||||||
充氣係(xì)統 | 質量流(liú)量計 | ||||||
控製方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注 | 以上(shàng)設備參(cān)數僅做參考,具體均按客戶實際(jì)工藝要求設計訂做 |