1)、固定筒3 圓筒形狀、大(dà)直徑、厚壁(bì)結構的設計和周向對稱的固定方式(shì),可保證其有足夠的強度和剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部件汙染,保證(zhèng)撥動盤15 轉動的靈活性。
2)、圓形軸承座2 的設計,保證軸承座安裝的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中兩軸承的安裝間距(jù),提高其(qí)自身的強度和剛度,保證轉動過程中(zhōng)軸1 的剛度和撥(bō)動盤15的旋轉靈活(huó)性、位置重複的一致性。
3)、裝載(zǎi)換位機(jī)構,通過擴大支承盤(pán)16 的直徑,使該機構(gòu)在平麵方向的(de)有效麵積增大,可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調整,提(tí)高光學薄膜質量;比較片12 由(yóu)單片玻璃作為一個比較(jiào)片單(dān)元,比較片采(cǎi)用空間立體疊加安裝方式(shì),多片(piàn)玻璃疊加安裝(zhuāng)在一個比較片存儲筒13 內,實(shí)現一次可放置50~100 片比較片,解決
鍍膜機鍍製多層精密光學(xué)薄膜,比較片數量少影(yǐng)響鍍膜層數和精度的問題(tí)。
4)、定位盤(pán)6 與槽型光藕(ǒu)17 的配合,通過槽型光(guāng)藕來感知定位盤上三個均(jun1)分的120°狹縫,控製電機轉動停止。軸1 旋轉定位重複的一致性得到保(bǎo)證,帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。
5)、 轉動密封(fēng)饋入機構引入威爾遜密封機構5,既保證電機9 通過齒輪齧合帶動軸1 的靈(líng)活轉動,又保證真空室對外部的密封作用。優化設計(jì)的真空鍍(dù)膜機多片式比較片裝置,其特點:(1)結構(gòu)簡(jiǎn)單,強度高,可靠性好(hǎo);(2)比較片裝(zhuāng)載數量大,生產效率提高,可鍍製超多層精密光學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監控的精度,降低對硬件係統的要求,係統容易實現自動控(kòng)製;(4)維護保養費用低。
通過對真空鍍膜機多片式(shì)比較片裝置的優(yōu)化設計,保證了(le)比較片機(jī)構撥片轉(zhuǎn)動的靈活性和重複的一致性,解決了比較片有效麵積小,光路(lù)調整不(bú)方便,光信號信噪比差(chà)的問題,又解決了比較片裝載數量(liàng)少的(de)問題,可以使現有的真空鍍膜機鍍製光學薄膜的質量大大提高,並(bìng)且30 層以上的光學(xué)薄膜得以鍍製完成。實踐證明(míng)此比較片結構(gòu)是有用的,可以在現(xiàn)代的光(guāng)學真空鍍膜行業進行推廣和實施,