為(wéi)盡量減小
真(zhēn)空鍍膜機真空室形變帶來的(de)影響,我們將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性的中間層上(shàng),其與真空室底壁之間采用點(diǎn)、線、麵活性支撐,以吸收和隔(gé)離(lí)形變,並設置形變補償(cháng)調節機構,在係統抽真(zhēn)空前,參照有限元計算(suàn)提供的理論數據預設適當的補償量(liàng),以使其在真空(kōng)狀態下達到平衡。而這樣的真空設計也使得現在的真空鍍膜機(jī)就能(néng)夠讓鍍膜在真空環境下正常進(jìn)行,防止外界因(yīn)素的影響。
而為了驗證有限元計算的結果,對真空室的形(xíng)變和補償進行了(le)測試。首先(xiān)將(jiāng)四(sì)隻千分表定(dìng)位(wèi)在工(gōng)作台安裝基點的真空壁外側(cè),當真空室由大氣抽到真空時(shí),記錄各千分(fèn)表的變化量,經歸一化處理後為用(yòng)激光自準直儀調整形變補(bǔ)償。由水平調整的自準直儀發出一束激光穿過真空室的玻(bō)璃窗照射固定於工作台上的反射鏡,在大氣(qì)環境下調整形變補償調(diào)節機構,使反射光束進入自準直儀接收視(shì)場,記錄兩維角度偏差。這些數據之後需要對其進行分析處理(lǐ),得(dé)到測試結果。