真空（kōng）鍍膜機（jī）主要指一類需要在較高真空度下進行（háng）的鍍膜，具（jù）體包括（kuò）很多種類，包括真空離（lí）子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種（zhǒng）。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。真（zhēn）空（kōng）鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛（fàn）的設備，對其操作（zuò）程序的了（le）解是至關重要的環節，在真空鍍膜機的具體操作過程（chéng）中建（jiàn）議參照以下標（biāo）注說明：

        一、 檢查真（zhēn）空鍍膜機各操作控製開關是否在"關（guān）"位置。

        二（èr）、打開總電源開關，設備送電。

        三、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲後，啟動（dòng）升鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固定鎢（wū）螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定（dìng）在（zài）轉動圓盤（pán）上。把鋁（lǚ）絲穿放在螺旋加熱子內。清理鍾罩內各部位，保證無任（rèn）何雜質（zhì）汙物。

        五、落下鍾罩。

        六、啟（qǐ）動抽真空（kōng）機械泵。

        七、開複合真空計電源(複合真空計型號（hào）:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區（qū）段的加熱位置。

               2）低真空表"2"內指針順時針移動，當指（zhǐ）針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至（zhì）指向（xiàng）2區段測量位置。

        八、當低真空表"2"內（nèi）指（zhǐ）針再（zài）次順時針移（yí）動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時左旋鈕"1"旋轉（zhuǎn）至指向1區段測量位置。

        九、 真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出（chū）。重複一次⑦動（dòng）作程序:左下旋鈕"1"轉至指向（xiàng）2區段測量位置。低真（zhēn）空表"2"內指針順（shùn）時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高（gāo）壓閥(閥杆（gǎn）順時針旋轉)。

        十一、等低真空表"2"內指針右移（yí）動至0.1Pa時，開規（guī）管（guǎn）燈絲開關。

                1）發射（shè）、零點測量鈕"9"旋轉至指向發射位（wèi）置。

                2）左下旋鈕（niǔ）"1"旋轉至指向1區段測量位置（zhì）。

        十二、 旋轉發射調（diào）節鈕"4"，使高（gāo）壓真空表"5"內指針（zhēn）指向5。

        十三、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉（zhuǎn）至指向零點位置。

        十四、旋轉零點調節鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向0位（wèi）置。

        十五、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量位置。

        十六、旋轉標準調節鈕"3"，讓高壓真空表"5"內指針（zhēn）指向10。

        十（shí）七、旋轉（zhuǎn）"倍加器"開關鈕"8"至指向10-12，當高壓真空表"5"內指針逆時針左移超過1時，再把（bǎ）"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉至指（zhǐ）向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內指針（zhēn）逆時針移動超過6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關（guān），鍾罩內被鍍件PVDF膜轉動。

        十九、開蒸發鈕開關（guān）。把電流分（fèn）插（chā）塞（sāi）插入蒸發電極分配孔內（nèi）(設有1、 2、 3、 4孔（kǒng），可（kě）插入（rù）任意一孔)。

        二十、 右手旋轉右側調壓器手輪，慢慢旋（xuán）轉升壓。

                  1）從視（shì）鏡窗口觀察鎢（wū）螺旋加熱（rè）子的加熱溫度（dù）顏色變化情況（kuàng）。

                  2）當鎢螺旋加熱（rè）子顏（yán）色（sè）變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板（bǎn）。

                  3）鋁絲（sī）全部熔（róng）化蒸發，擋（dǎng）板回（huí）原位。

                  4）右手旋轉調（diào）壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。

        二十（shí）一、 如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層（céng）厚度):把電流分插塞（sāi）撥出插入另一個電極分配孔。重複⑳操作動作。

        二十二（èr）、 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針轉（zhuǎn）手柄（bǐng）)。關閉工件旋（xuán）轉。關閉蒸（zhēng）發。旋轉機（jī）械泵鈕至（zhì）指（zhǐ）向擴散（sàn）泵位置。

        二十三（sān）、 低壓閥拉出。鍾罩充氣。充氣一段時間，當沒有氣.聲時，升鍾罩。

        二（èr）十四、鎢螺旋加熱子內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一麵向下（xià） (原下（xià）麵已鍍一層（céng）鋁膜麵向上)。緊固在轉動圓盤上。

        二十（shí）五、 落鍾罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋（xuán）轉至指向2區段測量（liàng）位置 。

                    2）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量（liàng）位置。

                    4）當低壓（yā）真空表"2"內指針順時（shí）針移動到6.7Pa時，開高壓閥（fá）。旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

                    5）當低壓真空表"2"內（nèi）指針（zhēn）順時針移動（dòng）到指向（xiàng）0.1Pa時，開規管（guǎn）燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作至⑳ 。

        二十六、 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即（jí）切斷高真空測量（liàng），關（guān）閉（bì）規管燈絲，高壓閥（fá）、低壓閥拉出。來電後，先讓（ràng）機械（xiè）泵啟動工作3~5min後，再轉入正常生產。