1、真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法（fǎ）是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反（fǎn）複（fù）擦洗真空室內壁，( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷)目的是使鍍（dù）上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應，反應後膜層脫落，並釋放（fàng）出氫氣。再用清水清洗真空室和用（yòng）布沾汽油清洗精抽閥內的汙垢。
2、當（dāng）粗抽泵(滑閥泵（bèng），旋片泵)連續工（gōng）作一個（gè）月(雨季減半（bàn）)，需更換新油（yóu）。方法是:擰開放（fàng）油螺栓，放掉（diào）舊油，再將泵啟動（dòng）數秒，使泵（bèng）內（nèi）的舊油完全排放出（chū）來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量(油視鏡觀察（chá）)。連續使用半年以上，換油時應將油蓋（gài）打開，用布擦幹（gàn）淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使用（yòng）6個月以上，抽速明（míng）顯變（biàn）慢，或（huò）操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵（bèng）膽清洗一遍（biàn），再用洗衣粉兌水清洗一遍，然後用清水徹（chè）底清洗幹淨，待水份揮發幹以後，裝好泵膽，加入（rù）新擴（kuò）散泵油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以（yǐ）重新開機。在重新開機前（qián），要注意檢漏工作。方法是（shì）:啟動維持泵，關好大門，數分鍾後，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱，否則擴散（sàn）泵（bèng）油會（huì）燒環，無法進入工作狀態（tài）。

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