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真空鍍膜塗層膜厚測量方式?

作者: 來源: 日期:2021-07-14 12:19:06 人氣:2687
       我們日常生活中,很多(duō)生活物品都經過鍍膜機(jī)鍍(dù)上(shàng)了一(yī)層膜層,讓產品不僅變得更(gèng)美觀,也更(gèng)實用。但是很多人(rén)會有一個疑問,那既然是鍍了一層膜層,薄膜肯定(dìng)是有厚度大小的,那麽(me)薄膜厚度具體多(duō)厚呢,以及怎麽去測量(liàng)?

       薄膜必須沉積(jī)在基底之上, 所以離開了基(jī)片也就無從談薄膜沉積的問題。基片的清洗好壞又對薄(báo)膜的質(zhì)最有(yǒu)極共重要的影響。同時在薄膜的製作中還必須知道薄(báo)膜的(de)厚度,脫離了薄(báo)膜的厚度來談(tán)薄(báo)膜性質的測最也是亳無意義的。 所(suǒ)以, 膜厚的測量和基片的(de)清洗可以說是和薄膜製作相關的重要技術。一般所謂的厚度是指兩個完(wán)全平整的平行平麵(miàn)之間的距離,這個概念是一個幾何概念。

        理想的薄膜厚度是指(zhǐ)基片表麵和(hé)薄膜表麵之(zhī)間的距離。在薄(báo)膜形貌的三維度量中,相對於薄(báo)膜的厚度來講,其他兩維的度(dù)量(liàng)可以說是無窮大。由於(yú)實際上存在(zài)的表麵是(shì)不平(píng)整和不連續的,而且(qiě)薄膜的內部還可能存在著氣(qì)孔、雜質、晶格缺陷和表麵吸附分子(zǐ)等等,所有要嚴格地定義和精(jīng)確地測量薄膜的厚度實際上是很困難的。

        膜厚的定義位當根據測(cè)址的方法和測址的目的(de)決定。 因此,同一個薄膜(mó),使(shǐ)用不同的測量方法會得到不(bú)同的結果, 即不同的厚度。

        在薄膜油測量中的表麵並不是一個幾何的概念(niàn),而(ér)是(shì)一個 物埋概念,是指表麵分子(zǐ)(原子)的集合。 平(píng)均表麵是指表(biǎo)麵原子所有的(de)點到這個麵的距離代數和等(děng)於零, 平均表麵(miàn)是一(yī)個兒何概念。

        我們通常將基片的一側的表麵分子的集合的(de)平(píng)均表麵稱(chēng)為基片表麵;薄膜(mó)上不和基片接(jiē)觸的那(nà)一側的表麵的平均表麵稱為薄(báo)膜(mó)的(de)形狀表麵,將所測量的薄膜原子重新排列,使其密度和大塊狀固體材料完全一樣且均勻的分布在基片表麵上,這時平均表(biǎo)麵稱為薄膜質量等價(jià)表麵;根據所測量薄膜的物理性質等效為一種長度和寬度與所(suǒ)測量的薄膜一樣的大塊(kuài)固體材料的薄膜,這時的平均表麵稱為薄膜物性等價表麵(miàn)。 形狀膜厚(hòu)是比較接近於直觀形式的膜厚, 通常以µm為單位; 質量膜厚反映了薄膜中包含物質為多少,通常 以 µg/cm#8217;為單位, 物性膜厚在實際使用上較有用, 而且比(bǐ)較容易測量。

         由於實際表(biǎo)麵並不平(píng)整,同時薄膜製作過程中又不可避免地要有各種缺陷、 雜質和吸(xī)附分子等存在,所以不管用哪 一種方法來定義(yì)和(hé)測量膜厚,都(dōu)是一個平均值,而(ér)且足包括了雜質、缺陷以及吸附分(fèn)子在內(nèi)的薄膜的厚度值。

        真空鍍(dù)膜機鍍膜是在真空腔體下進行鍍膜的,對於測(cè)量膜厚度來說,是需(xū)要這方麵專業的測(cè)量儀才能測出厚度大小。
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