彩色係膜層和常規色膜層區別就是C值（zhí）和H值（zhí），所以可以說，黑色也是彩（cǎi）色係膜層。

鋯＋氮氣：黃（huáng）綠調金黃色
鋯＋甲（jiǎ）烷：深淺黑色
鋯＋氧氣：白色、透明膜
鋯＋氮氣＋甲烷：金色（sè）、仿玫瑰金

鉻＋甲烷：深淺黑色（sè）
鉻＋氮氣：淺黑色
鉻＋氮氣＋甲烷：銀灰色
鉻＋氧氣：輕黃色、紫色、綠色

SUS＋氧氣：紫色
SUS＋氮氣：藍（lán）色
SUS＋甲烷：亮黑色
SUS＋甲烷＋氮氣：藍黑色（sè）

矽＋氮氣：黑色
矽＋氧氣：混濁白、透明膜
矽＋甲烷：黃色、綠色、藍色（sè）、黑色(靶材（cái）純度高於99%僅能（néng）調黑色)

鈦＋氧氣：光學膜七（qī）彩截（jié）色，不多介紹都懂。
鈦＋甲烷：深淺黑色( DLC製備不能達標)
鈦＋氮氣：仿金色、黃銅色、紫色、紅色
鈦＋氮氣＋甲烷：仿玫瑰金、黑綠（lǜ）色、複古黃、棕色、紫色

鎢＋氮氣：棕黃色
鎢＋甲烷：深淺黑色
鎢＋氧氣：紫色，鮮黃（huáng）色，棕色，藍色

以上（shàng）僅裝飾薄膜（mó）常（cháng）用材料及其常用（yòng）氣體，通常甲烷和乙炔（quē）都可互替，但（dàn）涉及部分顏色甲烷效果更好。

下一個：磁控濺射過程中（zhōng）常見問（wèn）題的解決方案