SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜(mó)機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:25186
SF係列(liè)電子束蒸發光學真空(kōng)鍍膜機

工作原(yuán)理

電子束蒸發是將膜(mó)材(cái)放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後(hòu)入射到基片表麵凝(níng)結成膜。電子束蒸(zhēng)發比(bǐ)一(yī)般電阻加熱蒸發熱效率高、束(shù)流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較(jiào)多(duō)的(de)短波通、長波通(tōng)、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶(dài)通膜(mó)、介質膜(mó)、高反(fǎn)膜、彩色反射膜等(děng)各種膜係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜,也能滿足如汽車反(fǎn)光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭(tóu)、冷光(guāng)杯等產品的鍍膜要求(qiú)。配置(zhì)不同的(de)蒸發源、電子槍和離(lí)子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜(mó)材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采(cǎi)用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過程的自動控製,工作效率和產品質量重複(fù)性一致性優良.
2)適用於光學領域行業,大規模工業生產要求的廠商使用。

技術參數表

SF係(xì)列電子束蒸發(fā)光學真空鍍膜(mó)機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機(jī)組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵(bèng)機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製儀(yí)
控製方式手動或半自動
膜(mó)厚監控(kòng)係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做(zuò)參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂(dìng)做
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